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工商時報【涂志豪╱台北報導】由於英特爾、台積電、三星電子等全球三大半導體廠，確定會在7奈米及更先進製程大量採用EUV技術，微影設備大廠艾司摩爾（ASML）第三季極紫外光（EUV）機台接單量大爆發，單季新增23台新訂單並創下新高紀錄。法人看好EUV光罩盒（EUV Pod）供應商家登（3680）、EUV雷射穩壓模組代工廠帆宣（6196）將直接受惠。ASML執行長Peter Wennink在線上法說會中表示，包括人工智慧（AI）以及5G等創新應用，帶動更高運算效能及更低功耗的晶片需求，且採用7奈米及更先進製程，帶動半導體廠對EUV及DUV（深紫外光）設備需求持續增加。記憶體市場因為仍在去化庫存，未來前景仍充滿不確定性，但預期在微影設備的安裝仍會有小幅度成長。事實上，台積電已採用EUV技術量產7+奈米，三星晶圓代工也宣布支援EUV技術7奈米量產投片，英特爾也啟動採用EUV技術的7奈米製程研發。同時，三星及SK海力士等記憶體廠，也在評估在部份DRAM光罩中採用EUV技術。ASML受惠於晶圓代工廠及記憶體廠的擴產需求，第三季完成7台EUV設備系統出貨，其中有3台是可以提升生產力35％的新一代NXE：3400C機台。ASML預估第四季將完成8台EUV設備系統出貨，其中會有6台是NXE: 3400C機台。而在新接訂單部份，ASML第三季接單大爆發，再度獲得主要客戶共23台EUV系統訂單，創下單季接單量新高紀錄。Peter Wennink表示，已看到客戶宣布採用EUV製程晶片已被應用在終端裝置，邏輯及記憶體客戶都積極採用EUV，對今年及明年展望樂觀。根據ASML的預估，月產能達4.5萬片的7奈米或5奈米12吋晶圓廠，每增加1層EUV光罩層需求，就要搭配1台EUV機台系統支援，對應增加約240∼260顆EUV Pod採購量。設備業者表示，7奈米EUV光罩層約4∼6層，但5奈米會大幅提升到14層，對EUV Pod需求大躍進，看好家登將直接受惠。另外，ASML手中EUV訂單持續湧入，隨著EUV系統出貨逐季提高，已打進EUV生態系統的帆宣亦將受惠。帆宣與ASML合作多年，承接EUV雷射穩壓模組代工訂單，訂單能見度等同於已看到明年。

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